开云网页版,开云(中国)
开云网页版,开云(中国)
关于华创
新闻&活动
产品&服务
加入我们
投资者关系
切换语言
关于华创
了解华创
品牌释义
开云网页版,开云(中国)
行业地位
企业荣誉
社会责任
合规声明
新闻&活动
企业新闻
展会活动
产品&服务
半导体装备
真空新能源装备
精密元器件
服务网络
加入我们
人才理念
投资者关系
了解华创
品牌释义
开云网页版,开云(中国)
行业地位
企业荣誉
社会责任
合规声明
企业新闻
展会活动
半导体装备
真空新能源装备
精密元器件
服务网络
产品系列
等离子刻蚀设备 Etch
物理气相沉积设备 PVD
化学气相沉积设备 CVD
湿法设备 WET
键合设备 Bonder
立式炉管设备 Vertical Furnace
离子注入设备 Implant
快速热处理设备 RTP
外延设备 EPI
应用领域
集成电路 IC
先进封装 Advanced Packaging
化合物半导体 Compound Semiconductor
新兴应用与科研领域设备 Emerging Applications and R&D
客户服务 Services
备品备件 Parts
产品系列
晶体生长设备 Crystal Growth Equipment
炉管设备 Tube Furnace
真空及气氛烧结装备 Vacuum & Atmosphere Sintering Equipment
真空及气氛焊接装备 Vacuum & Atmosphere Welding Equipment
真空及气氛热处理装备 Vacuum & Atmosphere Heat Treatment Equipment
工业薄膜沉积装备 Industrial Thin Film Deposition Equipment
板级封装装备 Panel-Level Packaging Equipment
平板显示装备 Flat Panel Display Equipment
应用领域
光伏 Photovoltaics (PV) Industry
锂电 Li-ion Battery
半导体 Semiconductor
真空电子 Vacuum Electronics
三航两机 Aerospace, Aviation, Marine, Aero-engine and Gas turbine
石墨碳材 Graphite and Carbon Materials
磁性材料 Magnetic Materials
光学镀膜 Optical Coating
功能涂层 Functional Coating
板级封装 Panel-level Packaging
显示 Display
产品系列
外壳 Packages
电阻器 Resistors
电容器 Capacitors
磁心 Magnetic Cores
电感器 Inductors
晶体谐振器 Crystal Resonators
晶体振荡器 Crystal Oscillators
传感器 Sensors
光电子器件 Optoelectronic Devices
微波器件 Microwave Devices
微波组件 Microwave Modules
模块电源 Power Modules
模拟芯片 Analog ICs
数字芯片 Digital ICs
电源芯片 Power IC
人才理念
半导体装备
真空新能源装备
精密元器件
人在NAURA
加入我们
人才理念
半导体装备
真空新能源装备
精密元件器装备
加入我们
人才理念
搜索
简体中文
English
开云网页版,开云(中国)
产品&服务
真空新能源装备
炉管设备
卧式扩散炉
真空新能源装备 Vacuum Tech
HORIS D12
卧式扩散炉
联系咨询
公司名称：
HORIS D12 卧式扩散炉
HORIS D12 Diffusion System
适用于光伏电池片生产，兼容TOPCon、TBC、HTBC等各种工艺路线，涉及磷扩、硼扩、氧化、退火等
设备特点
分区多点高精度控温，高效节能耐高温炉体，升降温快、炉体寿命长
多路进气结构和源压控制系统，保障良好的气场均匀性
成熟的湿氧技术、高温密封技术、自动补源系统、大容量过滤和废液自动收集技术
创新型工装结构设计方式，CoO大幅降低
技术指标
最高温度
1030℃
控温精度
±1℃
碎片率
≤0.01%
压升率
≤2mbar/min
适用工艺
低压磷扩散、低压硼扩散、低压退火/氧化、常压退火/氧化、氢气退火
适用材料
光伏晶硅电池片
分享我们：
微信扫一扫
联系我们
官方公众号
