工业薄膜沉积工艺：在固体基底表面通过物理或化学手段生长出一层极薄 (通常为纳米至微米级) 的固体薄膜。通常分为物理气相沉积 (PVD)、化学气相沉积 (CVD)、原子层沉积 (ALD) 等。工业薄膜沉积装备：集成真空系统、磁控及电弧阴极、蒸发源、离子源、气场、热场等多项关键技术。
