单体PVD设备

阴极电弧复合磁控溅射镀膜设备，集成自研电弧技术、阳极层离子源刻蚀清洗及多类磁控靶材电源技术，兼容阴极电弧、磁控溅射工艺，可制备金属及合金、氮化物、氧化物等高性能涂层，适配航空航天、工具模具等领域。