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真空新能源装备 Vacuum Tech

MERI-E系列

电子束蒸镀设备

MERI-E系列电子束蒸镀设备

MERI-E Series Roll-to-Roll E-beam Evaporation Equipment for Flexible Substrates

电子束蒸镀设备采用我司独创的“黑金鼓”技术，应用于锂电、固态电池、特种包装、柔性电子等领域，可满足金属、非金属等材料的电子束工艺需求

设备特点

技术指标

基材幅宽
600mm-2000mm
基材厚度
4.5-50μm
卷绕速度
0.1-100m/min
张力范围
10-250N
主鼓温度
-20℃~20℃
适用工艺
电子束
适用材料
金属、非金属等

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