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ARTI 系列

多腔室磁控溅射镀膜设备

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ARTI 系列 多腔室磁控溅射镀膜设备
ARTI Series Multi Chamber Sputtering Equipment
连续多腔体镀膜设备,采用整鼓连续的方式,具备自动化上下系统;适用于智能设备、车载屏幕、激光雷达、人脸识别等领域,可完成金属、氧化物、氟化物、氮化物等材料的直流、中频、射频溅射工艺涂层沉积。
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