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真空新能源装备 Vacuum Tech
VERIS 系列
立式扩散炉
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公司名称：
VERIS 系列 立式扩散炉
VERIS Series Vertical Diffusion Furnace
适用于光伏高效电池生产，兼容TOPCon、TBC、HTBC等工艺路线，应用在硼扩、磷扩、退火类工艺
设备特点
采用独特的温场、气场设计，具备更优异的工艺方阻均匀性
单管产能比卧式产品提升 50%，占地面积更小
设备维护更便捷，常规维护无需登高作业
成熟的 MES 经验和完备的远程控制系统
技术指标
最高温度
1030℃
控温精度
±1℃
碎片率
≤0.01%
压升率
≤2mbar/min
适用工艺
硼扩散、磷扩散、退火
适用材料
光伏晶硅电池片
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