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HORIS TA12
管式ALD设备
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公司名称：
HORIS TA12 管式ALD设备
HORIS TA12 ALD System
适用于光伏电池生产，适配TOPCon、TBC工艺路线，应用在表面钝化、边缘钝化等工艺
设备特点
独特的温场和气场设计，在单/双插、整片/半片等均可保证良好的镀膜均匀性
兼容多种类型蒸镀材料，覆盖主流钙钛矿材料制备工艺边缘钝化极致外观效果，绕镀<1mm
气体利用率高，特气耗气量降低 30%
维护周期长且便于维护
技术指标
表面钝化均匀性
≤3%
边缘钝化绕镀≤1mm
≤3%
适用工艺
表面钝化、边缘钝化
适用材料
光伏晶硅电池片
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