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氢气烧结炉
真空新能源装备 Vacuum Tech
VERAL GS555H1
氢气烧结炉
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公司名称：
VERAL GS555H1 氢气烧结炉
VERAL GS555H1 Hydrogen Sintering Furnace
氢气烧结炉采用独特热区结构设计腔体密封系统， 并含先进的气体输送系统和抽真空系统， 可全面覆盖氧化铝HTCC工艺需求。
设备特点
多分区的控温架构与流场结合设计， 通过对热场的精准控制和流场的分布导向， 有效的保证了温度均匀性和气流均匀性， 进而保证产品的高致密化烧结
可通过电信号或手动控制多种工艺气按比例混合后分多路进入设备， 根据工艺设定自动实现干湿气切换， 各器件连接处采用双卡套接头或橡胶密封， 有效的保证设备安全
具有全流程自动化控制系统， 依据实时情况记录， 保障流程精准无误
技术指标
工作温度1700度，冷态极限真空200Pa，温度均匀性±5℃，压升率0.67Pa/h
适用工艺
氧化铝ESC高温共烧工艺
适用材料
氧化铝
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