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VERAL GH系列

槽沉炉

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VERAL GH系列 槽沉炉
VERAL GH Series Slot Deposition Furnace
适用于半导体、光学、光通讯、航空航天、复合材料领域,可满足石英产品的槽沉改性工艺需求。我司的开发大尺寸石英槽沉炉热场高可靠旋转系统,可满足通过离心力辅助均匀分布功能,实现多温区梯度控制技术。
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