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开云网页版,开云(中国) 产品&服务真空新能源装备真空及气氛热处理装备石墨纯化炉

真空新能源装备 Vacuum Tech

VERAL VH系列

石墨纯化炉

VERAL VH系列石墨纯化炉

VERAL VH Series Graphite Purification Furnace

高纯石墨主要应用于半导体等对石墨杂质要求非常苛刻的领域，开云网页版,开云(中国) 真空研发采用化学净化法，在高温下，利用化学气体对石墨进行净化的设备与工艺，纯化后的石墨总灰分可达到5ppm。

设备特点

技术指标

最高工作温度
2400℃
温度均匀性
±5℃
冷态真空度
10Pa
工艺气体
氩利昂、氩气
立式尺寸
Φ1000×H1000mm；Φ1400×H1200mm；Φ1600×H1700mm
适用工艺
纯化
适用材料
石墨

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