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特大超高真空排气台
真空新能源装备 Vacuum Tech
VERAL VH1855A
特大超高真空排气台
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公司名称:
VERAL VH1855A 特大超高真空排气台
VERAL VH1855A Extra Large Ultra-High Vacuum Exhaust Station
设备适用于电真空领域,可满足大型速调管产品的除气工艺需求。最高温度可达600℃,温度均匀性±5℃,内真空极限真空度可达10-8Pa量级。炉体采用立式多节炉体组合结构,可满足不同高度工件的的除气需求。
设备特点
炉体采用立式多节炉体组合结构
设备有三个内真空口,两个超高真空,一个高真空,可满足复杂工件的除气需求
技术指标
最高工作温度
600℃
温度均匀性
±5℃
冷态内真空度
8.5x10-8Pa
冷态外真空度
5x10⁻⁴Pa
工作区有效尺寸
Φ1800×H5500mm
适用工艺
除气
适用材料
不锈钢
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