eVictor/Polaris系列 板级物理气相沉积系统
eVictor/Polaris Series Panel-Level PVD System
eVictor/Polaris系列板级物理气相沉积系统包含大气平台、真空传输平台、去气腔室、预清洗腔室以及工艺腔室，能够实现包含钛粘附层与铜籽晶层等多种工艺，eVictor/Polaris系列为全自动大产能设备，具有反应腔自动开闭盖，Panel自动传输，工艺去气，晶片表面预清洁、薄膜沉积完全自动化等特点，设备可同时满足较好的厚度均匀性和Rs均匀性。
