板级PIQ设备包含自动传输系统和炉管反应室，主要用于板级封装领域的PI光胶固化和烘烤去湿等工艺。支持全自动化生产模式，具备优异的颗粒、氧含量和温度控制能力，为探索更小线宽的板级先进封装工艺提供更多可能。
