Index是用于连接工艺设备（EQ）和智能化物流仓储系统（STK）的基板装载卸载设备、承载对象卡匣(CST)，并将卡匣（CST）内基板搬送至制程或检量测设备，将经过制程或检量测设备后的基板搬送回卡匣(CST)。主要由Port模块、Fence模块、控制模块等组成。其中Port模块的功能是承载卡匣(CST)，Fence模块的功能是提供洁净、安全空间，控制模块的功能是控制Robot，实现基板在卡匣(CST)与至制程或检量测设备之间的搬送。