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真空新能源装备 Vacuum Tech

光配向设备

光配向设备

Photo Alignment

产品应用于FPD领域PI制程中PI膜的快速光配向；首家唯一国产设备厂商实现G8.5世代以上机台的交付量产业绩。

设备特点

洁净度控制
ISO Class10
面板尺寸
满足G2.5∽G10.5产线的Glass规格
工作台
Twin Stage
平均曝光均匀度
≤ 4%
适用领域
FPD行业制程中PI膜的快速光配向
设备定位精度
Stage Yawing:≤±0.02°
Stage Rolling
≤±0.05°
Stage Pitching
≤±0.05°
Alignment精度
±50μm，θ±0.003°
按HP lamp双灯配置，偏光波长域230nm～310nm
±50μm，θ±0.003°
照度均匀度差值
≤±10%
消光比
≥50:1
加权平均偏光轴Mura
±0.08°
自动Lamp校正系统
可以自动测试各点位的消光比、偏光角、照度、光积量；
测量系统与机台通讯，并且对机台的进行实时参数校正；
可以自动测试各点位的消光比、偏光角、照度、光积量；
机台冷却系统
可对灯具温度进行实时监控，且具备超温保护功能。

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