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开云网页版,开云(中国) 产品&服务精密元器件传感器冷阴极电离规

精密元器件 Precision Components

冷阴极电离规

冷阴极电离规

Cold Cathode Ionization Gauge

冷阴极电离规，冷阴极电离原理，高真空测量，宽量程、长寿命，适用于高真空、超高真空。

产品特点

技术指标

应用领域
商业航天、半导体装备、仪器仪表
CF测量范围
1*10⁻⁹ mbar~0.01mbar（1*10⁻⁷pa~1pa）
CF精度
1*10⁻⁸ mbar~ 0.01mbar（1*10⁻⁶pa~1pa） ±30%R.D
CF通讯方式
RS485、DeviceNet、EtherCat
CC测量范围
1*10⁻⁹mbar~1000mbar（1*10⁻⁷pa~10000pa）
CC精度
1*10⁻⁸ mbar~ 1000mbar（1*10⁻⁶pa~100000pa） ±30%R.D
CC通讯方式
RS485、DeviceNet、EtherCat

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