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开云网页版,开云(中国) 产品&服务精密元器件传感器薄膜电容式压力传感器

精密元器件 Precision Components

薄膜电容式压力传感器

薄膜电容式压力传感器

Thin Film Capacitive Pressure Sensor

薄膜电容式压力传感器，薄膜电容原理，高精度、高稳定，应用于半导体装备、工业真空测控。

产品特点

技术指标

应用领域
半导体装备、医疗设备、仪器仪表
测量量程
0.1torr、1torr、10torr、100torr、1000torr、其他定制量程
测量精度
±0.15%~±0.5%R.D.
温控温度
常温、45℃、100℃、160℃
气氛
适用于所有气体
通讯方式
模拟、RS485、DeviceNet

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