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谐振式MEMS加速度计(TDA01)
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公司名称:
业务联系人:史玮婷
谐振式MEMS加速度计(TDA01)
Resonant MEMS Accelerometer
谐振式MEMS加速度计,具备三轴加速度测量能力,内置数字处理电路,完成传感信号误差补偿,输出测量数据,可应用于结构健康监测、地震观测、工业设备状态监测、工业机械姿态检测等场景。
产品特点
基于谐振式QMEMS技术,噪声水平优异,噪声谱密度优于 0.2μg/
Hz
可输出加速度与倾角两类测量信息,满足多维度监测需求
提供 SPI、UART 数字通信接口,便于与上位系统对接集成
整机轻量化设计,重量优于30g
技术指标
应用领域
工业控制
量程
±15g
零偏重复性
≤3mg
零偏不稳定性
≤0.15ug
噪声谱密度
<0.2ug/
Hz
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